一.技術參數

X軸(驅動部分)

  測量范圍:    標準型和退避型為16mm，橫向型為5.6mm

  測量速度:    測量：0.25mm/s,0.5mm/s,0.75mm/s   返回：1mm/s

檢測器

  范圍:        360μm(-200μm到+160μm)

  分辨力:      360μm/0.02μm，100μm/0.006μm，25μm/0.002μm

  檢測方法:    有軌測量

  探針針尖:    90°/5μmR 測力4mN

               60°/2μmR 測力0.75mN

  導頭壓力:    小于400mN

電源:          內置可充電鎳氫電池/AC適配器

電池壽命:      大約可測量1000次

充電時間:      大約4個小時

外形尺寸：     W115×D23×H26mm（包含檢出器）

外部I/O功能:   USB I/F，數顯輸出，打印機輸出，RS-232C I/F，腳踏開關 I/F

型號

SJ-210

驅動器

標準型

退避型

橫向型

檢測器測力

0.75mN

4mN

0.75mN

4mN

0.75mN

4mN

貨號(mm)

178-560-01DC

178-560-02DC

178-562-01DC

178-562-02DC

178-564-01DC

178-564-02DC

 (inch/mm)

178-561-01DC

178-561-02DC

178-563-01DC

178-563-02DC

178-565-01DC

178-565-02DC