河南凈化工程公司電子廠凈化車間節能設計的納米時代

目前主要使用凈化車間潔凈技術的行業有電子產業，制藥行業，醫院手術室，食品罐裝行業，高端化妝品制造，生物實驗室，精密醫療器械產品的生產制造，以及高端精密零部件的生產等等。在我國，電子行業每年花費在潔凈室方面的費用約為50億元，其中，以集成電路芯片生產線為代表的微電子行業每年約30億元。電子產品行業需求大且發展迅速，因此電子廠凈化車間的建設尤為必要。

根據電子廠凈化車間空氣循環特點可以將凈化車間分為三種類型：循環空調機配合高效送風口系統、循環風機配合濕式密封系統和FFU(風機過濾單元)循環系統。種形式在小規模低等級要求的電子廠凈化車間設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的電子廠凈化車間則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。第二種形式的設計可以滿足集成電路制造電子廠凈化車間大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且電子廠凈化車間風速、風量調節困難，系統升級改造困難，因此操作靈活性很低。第三種的FFU循環系統不僅節省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產的情況下隨時進行系統升級和調整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業FFU循環系統逐漸成為最主要的潔凈設計方案。

電子廠凈化車間FFU循環系統的特點是：整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成，由FFU提供循環空氣的動力，將新風、循環風混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負壓。此外，還有生產輔助區為集成電路制造廠務設備區域，包括電力供應、氣體和化學品供應、超純水供應等。

潔凈系統設計突出節能理念，好的電子廠凈化車間設計不僅能節省能源、降低運行成本、降低人力投入，而且可以給生產提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統中，FFU循環系統運行成本，潔凈度安全性，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環系統。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則電子廠凈化車間投資和運行成本越高，因此在大環境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下，將一些關鍵的工藝設備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區域內(比如潔凈隧道和微環境)是集成電路制造潔凈廠房的設計趨勢。隨著集成電路制造技術的不斷升級，主流大廠已經進入了納米時代，集成電路制造凈化車間的設計建造和節能創新也需要不斷提升，為先進產品生產提供保障。

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