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AWS A20 Research Platform®測試系統基于聲波傳感原理，可通過石英傳感器頻率變化和導納-頻率特征譜來檢測芯片表面質量和結構變化，適用于剛性和粘彈性薄膜。具有倍頻操作模式，可給出薄膜的粘度，彈性模量，粘性模量，厚度等信息。倍頻曲線也可以用來表征薄膜的均勻性，用來評價沉積方法。測試頻率高達160MHz，靈敏度可達 0.05ng/cm2。
品牌：AWSensors
型號：AWS A20 RP
類型：AWS多參數石英晶體微天平
1、腐蝕研究
2、電鍍研究
3、沉積層厚度測試
4、鋰離子電池評價
5、表面涂層研究
6、納米粒子吸脫附
7、離子和溶劑的傳輸
8、表面活性劑去污能力評價
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傳感器通道數 |
1-4 個 |
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頻率范圍 |
5-160MHz |
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頻率分辨率 |
0.001Hz |
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頻率穩定性 |
±0.05ppm ，0 - 50°C范圍內 |
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相位分辨率 |
＜0.001° |
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振幅分辨率 |
0.15mV |
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傳感器晶體 |
5MHz/10MHz，直徑14mm ，AT切割，13倍頻 |
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質量靈敏度 |
0.05ng/cm2 |
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耗散靈敏度 |
~3×10-8 |
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溫度范圍 |
20-40°C ，軟件控制，精確度為0.01°C |
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尺寸/重量 |
32×75×45cm（HWD）/25Kg |
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分析模型 |
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樣品池采用Q-Lock設計，該設計可控制傳感器上方的壓力以保證高頻率測試時的穩定性與高低頻諧波的最小失真，同時操作簡單方便可避免操作誤差，無論多少次開關樣品池，測試都將是重復可靠的。同時AWS可提供整套的EQCM實驗方案，通過增加電化學樣品池與配套電化學工作站，AWS Suite®軟件可實時同步采集兩者信號，完美實現電化學與QCM的同步測試。
