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扭矩CS: 0.1 μN.m – 50 mN.m
扭矩CR: 0.1 μN.m – 50 mN.m
馬達慣性: 15μN.m.s2
角速度范圍CS (rad/s): 0 ～ 300
角速度范圍CR (rad/s): 10E-7 ～ 300
頻率范圍 (rad/s): 7.5×10E-7 ～ 628
位移精度 40nrad
多孔碳空氣軸承
自動間距控制
溫度控制 Peltier: -40 ～ 200 ℃
上加熱板UHP: -20 ～ 150 ℃
電加熱板EHP: -70 ～ 400 ℃
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上海耐鼎自控閥門有限公司
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