德國MUEGGE等離子元件

天津瑞利光電科技有限公司經銷MUEGGE等離子元件。 

產品詳情：

等離子元件MW2009D-260ED

描述：

雙等離子體的組合可以用于獲得二維等離子體陣列。單個源以及2個，4個和8個平行排列的等離子體可用于等離子體輔助表面處理，如表面活化，蝕刻和沉積。雙等離子體是不使用磁場的直接微波等離子體源。在簡化的描述中，它類似于由微波激發的反向發光管，雙等離子體通常在約1000Pa至10Pa的低壓下操作。由兩個磁控管產生的具有2.45GHz頻率的微波在兩端被饋送到等離子體線中。在外部低壓狀態下放電點火，隨著微波功率的增加，等離子體從沿著管的兩端增長，并且形成軸向均勻的等離子體。

特征：

-低壓微波等離子體源

-可擴展和緊湊的設計

-大面積應用

-高等離子體密度

-高效率

-低傷害

-輕松適應定制系統

參數：

-頻率：915MHz / 2450MHz / 5800MHz

-HF-輸入功率：典型2 kW / m @ 1 mbar

-波導：同軸8/26

-過程壓力：典型值0.1 mbar - 1 mbar

-等離子體密度：在2450MHz時高達1012 / cm3

-典型的過程氣體：ArO 2，N 2 H 2，NH 3，SiH 4，HMDSO

-電子溫度：~2eV

-同質性：優于5％

材料：

-腔室：鋁

-氣體噴淋：鋁

-等離子體源：石英，AL2O3

-冷卻：水/空氣合并

連接器：

-同軸8/26（微波）

-接頭套管（水，空氣，氣體）

-尺寸：客戶特定

-MW電源元件

品牌介紹：

德國MUEGGE GmbH是在工業微波技術領域的供應商。其組合包括微波發生器和部件，包括相應的供電技術，用于各種應用，例如工業微波加熱，尤其是等離子技術。由MUEGGE生產的微波系統用于等離子體工業、半導體和平板的應用程序。MUEGGE公司擁有25年工業微波產品的生產制造經驗，始終為用戶提供新的 技術及產品，其提供的微波電源、發生器全部由微電腦控制，可實現任何接口的通訊對接。

MUEGGE的服務范圍從工藝工程到設備安裝工程體系建設、組裝、廠房建設和全面的客戶支持發展。其主要產品包括基于工業微波等離子體的元件和等離子體源，例如一個高性能的遠程等離子體源可以創建自由基（快速反應性自由基技術，R3T），用于在半導體工業中使用。

天津瑞利光電科技有限公司于2016年成立，坐落于渤海之濱天津，地理位置得天獨厚，交通運輸便利，進出口貿易發達。憑借著歐洲的采購中心，我們始終為客戶提供歐美工業技術、高新科技等發達國家原裝進口的光電設備、光學儀器、機電設備及配件、電氣成套設備、工業自動化控制設備產品