Pfeiffer 普發TMU521P分子泵維修,Pfeiffer TMU521P普發渦輪分子泵進氣法蘭口DN 100 CF-F/DN 160 CF-F，出氣法蘭口 DN 25 ISO-KF，DN 100 CF-F抽速可達到290 L/s, DN 160 CF-F抽速可達到510 L/s，833HZ轉速為50000 rpm，550HZ轉速為33000 rpm，極限真空5X10-10 mbar, Pfeiffer普發TMU521P分子泵對應的控制器為：Pfeiffer TC600等。