新的緊湊型EPX500高真空干泵的特性是:工作性能,運行成本更低。EPX500使用了保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于7*10-5 Torr的極限壓力EPX NE系列的泵具有一個終用戶控制器(EUC)。通過終用戶控制器可以實現獨立使用的本地控制,并能夠連接到結構的網絡,以進行遠程控制和監視。
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