廣州潽拓光電維修 Seiko Seiki STP-301CB1精工精機分子泵，Seiko Seiki STP-301CB1日本精工精機分子泵進氣法蘭口ICF152/VG100/ISO100，出氣法蘭口KF25，抽速可達到300L/s，轉速為48000rpm，VG/ISO法蘭口極限壓力6.5 x 10-6Pa (5 x 10-8Torr)，ICF法蘭口極限壓力10-7Pa (10-9Torr) 精工精機STP-H301C分子泵保養對應的控制器為：Seiko Seiki SCU-301C。