德國普發Hipace 300 Plus渦輪分子泵維修，Pfeiffer Hipace 300 Plus普發渦輪分子泵進氣法蘭口DN100 ISO-K/DN100 ISO-F/DN100 CF-F，出氣法蘭口DN 16 ISO-KF，抽速可達到255 L/s – 260 L/s，轉速為60000rpm，極限壓力1X10- 11 mbar，對應的控制器為：Pfeiffer TC400。