粉塵可以通過水粘結而聚結增大,但那些最細小的粉塵只有當水滴很小(如微霧)或加入化學劑(如表面活性劑)減小水表面張力時才能聚結成團。當水霧顆粒與粉塵顆粒直徑大小接近時,粉塵顆粒在隨氣流運動的過程中會與水霧顆粒碰撞、接觸而粘結在一-起,并通過自身的重力作用沉降下來。
微霧抑塵裝置是由壓縮空氣驅動的聲波震蕩期,通過高頻聲波將水高度霧化,從而形成成千上萬個1:10um大小的水霧顆粒。壓縮氣流通過噴頭共振室將水霧顆粒以柔軟低速的霧狀方式射到粉塵發生點,粉塵聚結而沉降,達到抑塵的目的。九九環保干霧抑塵裝置就屬于微霧抑塵裝置中的一種,除塵率高達98%。