超凈室是一種嚴格要求衛生環境的房間，主要用于光學器件制做，超凈室內可以進行涂膠、光刻、蒸發鍍膜及鍵合，清洗、烘干、電鍍、腐蝕、擴散及研磨等。

       (1) 在潔凈區與非潔凈區隔離口設有“TJ —1”型單人定時冷熱風淋室,它是工作人員進入超凈室的凈化關口。
       (2) 在非潔凈區設有更衣室,操作人員更換防靜電潔凈服后才可進入超凈室。
       (3) 設有室內對外器件、物品傳遞窗。
       (4) 室內面積達24m2 ,其工作潔凈度達1000 級,在局部2m2 的光刻工藝區、凈化工作臺以及凈化涂膠機,工作潔凈度達100 級。
       (5) 室內用于顯影及清洗器件的高純水,是由設在室外的潔凈水循環系統引入,該系統以去離子水為原水,經精密過濾、紫外線殺菌及離子交換,極大提高了水質純度,其輸出水質電阻率≥15MΩ。
       (6) 在工作人員健康保障方面,超凈室設有空調、凈化排風系統。涂膠臺及電鍍腐蝕工作臺設置了立的對外排風系統,從而也降低了環境污染�？照{系統保障了室內濕度≤60 % ,工作溫度保持18 ℃—25 ℃。室內循環凈化送風系統以及光刻工作區層流罩循環凈化系統為室內潔凈度提供了保障。